微細加工プロセス共用プラットフォーム

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「微細加工プロセス共用プラットフォーム」チャンネルでは、半導体、MEMS等の分野で活用されるマイクロ、ナノの微細加工プロセスに関する、技術セミナー動画、共用施設紹介動画など、研究開発者の方々にお役に立つ情報を提供します。 なお、2022年3月末で「ナノテクノロジープラットフォーム」事業（文部科学省 委託事業）は終...

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京都大学ナノテクノロジーハブ拠点　支援技術紹介 13:38

京都大学ナノテクノロジーハブ拠点　支援技術紹介

「利用報告書の分析と価値創造～ 自然言語処理を用いた2次元材料研究開発の動向分析と今後の展望 ～」 18:10

「利用報告書の分析と価値創造～ 自然言語処理を用いた2次元材料研究開発の動向分析と今後の展望 ～」

「微小光熱源ナノヒーター®素子」 24:13

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「ナノテクノロジープラットフォームのレガシーを新事業に活かそう」 30:02

「ナノテクノロジープラットフォームのレガシーを新事業に活かそう」

ユーザーボイス　～微細加工プラットフォーム 利用者の声～ ＜企業編＞ 5:23

ユーザーボイス　～微細加工プラットフォーム 利用者の声～ ＜企業編＞

ナノプラットフォーム10年の歩み 7:49

ナノプラットフォーム10年の歩み

「マイクロアクチュエータの基礎と活用」 25:53

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「試作コインランドリにおけるウェハ接合技術」 11:49

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「原子層堆積による成膜と薄膜評価技術」 20:10

「原子層堆積による成膜と薄膜評価技術」

「電子線描画装置を利用した金属ナノ構造作製技術」 18:21

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「デバイスからの放出ガス分析」 16:41

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「フェムト秒レーザによる高アスペクト比加工」 16:20

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「連続発振レーザ結晶化とその応用」 20:59

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「パッケージングで差を付ける!　東京大学微細加工拠点でのシステム実装環境」 17:14

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「SiのCVDと薄膜利用MEMS」 16:51

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「Si深堀エッチング（Deep-RIE）技術とその応用」 21:34

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SiC SBDの試作とパワー半導体デバイスの測定 10:11

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マイクロ流路デバイスの設計・製作・評価 8:56

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静電容量型加速度センサーの設計から試作・評価 8:01

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Character Projection を使った電子線描画技術の実習 11:59

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電子ビーム描画の基礎と実践 9:27

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原子層堆積（ALD)装置による薄膜形成実習 9:29

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エリプソメータによる膜厚測定 8:09

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マイクロ流路の作製 7:33

マイクロ流路の作製

マスクレス露光によるフォトリソグラフィー 8:36

マスクレス露光によるフォトリソグラフィー

電子線露光プロセス実習 6:00

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多目的i線ステッパ、コータデベロッパによる微細パターン形成 8:51

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「分光エリプソメトリによる薄膜測定技術について」 24:23

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「高分子マテリアルの微細加工技術」 17:54

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「集積化センサ/アクチュエータを形成可能なSOI-MEMS技術」 16:00

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「物理気相成長（PVD）による成膜技術」 21:54

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「微細加工プロセスの時代が来た」 30:07

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「光触媒機能・超親水機能を備えた反射防止誘電体多層膜」 21:54

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プロセス実習コース「グレースケール露光によるPDMSマイクロ流路デバイスの作製」 4:29

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「超高真空スパッタ装置を用いたスピントロニクス素子用薄膜の作製」 21:53

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「水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術」 22:16

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「多様な材料・プロセス開発を叶えるドライエッチング技術」 16:17

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「CMOS集積回路作製の基礎技術」 23:50

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微細加工プラットフォームの支援の特徴（ナレーション入り） 3:32

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「原子層堆積（ALD)技術による薄膜形成」 21:15

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「電子ビームリソグラフィを用いた微細加工プロセス」 25:36

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「電子ビーム露光とマスクレス露光の連携によるリソグラフィ」 22:39

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「メタマテリアル研究のためのナノ構造薄膜作製技術」 21:48

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「短納期研究用CMOSデバイス・回路の設計ルールと作製プロセス」 25:46

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「ヘリウムイオン顕微鏡によるサブナノ加工と超高分解能観察」 20:50

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「バイオサンプル操作のためのマイクロ流体デバイス作製技術」 21:46

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「FIB-SEMによる多様な材料の加工観察技術」 14:25

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「めっき法を用いた膜作製とナノレベルの微細加工」 24:41

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「ナノテクPFとファウンドリLSIで開く高信頼MEMSデバイスへの招待」 21:56

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「原子層堆積装置による多種多様な材料・デバイスへの薄膜形成技術」 18:31

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「曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工」 21:28

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「レーザーリソグラフィによるグレースケール露光」 25:35

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「微細加工（CMOS & MEMS）プロセスで新たな可能性を提供」 22:20

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「微細加工と異種材料接合技術を利用したバイオデバイスへの応用」 20:30

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「高周波誘導加熱CVD装置によるpoly Siとepipoly Siの成膜」 19:00

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「マスクレス・フォトリソグラフィ」 20:09

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微細加工プラットフォーム実施機関紹介 3:17

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「ポイントビームによるEBリソグラフィ技術」 20:09

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「可変成形ビームおよびキャラクタープロジェクションを用いた電子線描画の基礎」 20:49

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微細加工プラットフォームのご紹介 3:27

微細加工プラットフォームのご紹介

トピックス

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